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    國內首臺12英寸晶圓探針臺研制成功

    2020-09-29

      2020年6月22日,中科院長春光機所旗下長春光華微電子設備工程中心有限公司(光華微電子)宣布研制成功國內首臺商用12英寸全自動晶圓探針臺。

    光華微電子 APT121A晶圓測試探針臺
      
      晶圓探針臺是半導體(包括集成電路、分立器件、光電器件、傳感器)行業重要的檢測裝備之一,用于晶圓加工之后、封裝工藝之前的晶圓測試環節,負責晶圓的輸送與定位,使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個測試。經過檢測,探針臺將參數特性不符合要求的芯片記錄下來,在進入后序工序前予以剔除,從而大幅度降低器件的制造成本。
      
      由于探針臺技術門檻較高,目前市場處于雙強壟斷態勢,東京電子(TEL)和東京精密(TSK)兩家日本公司占據了絕大部分市場份額。我國有關單位在探針臺研制方面已有多年技術積累,產品以8英寸為主,主要面向LED等產業。光華微電子于2015年正式立項開展12英寸全自動探針臺產品研發,先后突破了全自動上料機械手的設計、大行程微米級XY移動平臺精密定位控制技術、高剛度高穩定性探針接觸Z向移動平臺精密控制技術、基于圖像識別的晶圓和探針精密測量和對準技術、大數據量的信息處理和計算機控制技術、高平面度和高熱穩定性的晶圓承載盤技術等六項關鍵技術,于2019年起先后在功率半導體器件、光電探測器、邏輯半導體器件的骨干企業進行了樣機測試,測試結果表明產品已經能夠滿足產線生產要求,具備替代國外進口設備用于晶圓探針檢測能力?! ?br />  
      根據光華微電子官網介紹,光華微電子研制的APT121A型探針臺作為國內第一款商業化的12英寸全自動晶圓測試探針臺,能夠滿足12英寸、8英寸晶圓的測試需求,通過高精度定位平臺、高剛性晶圓承載臺和高分辨率探針相機及俯視相晶圓相機,實現全自動上下晶圓、對針和高精度測試。其性能指標已經達到或者接近國際水平,能夠降低晶圓測試廠的采購及維護成本,將對我國的半導體產業發展產生積極的推動作用。
      
      光華微電子公司是中國科學院長春光學精密機械與物理研究所機電工程研究部于2002年轉制而成立的一家高科技股份有限公司,近20年來專注于被動電子元件和微電子設備的研發、生產,其主要產品分布在晶片電阻生產設備、半導體生產設備、激光精細加工設備、精密機械產品等4個領域。在國內有大量中資、臺資、港資、美資和韓資企業用戶,其中晶片電阻生產設備市場占有率達70%以上。

    [來源:儀器信息網]

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