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    塵埃粒子計數器 可用半導體集成電路生產潔凈室

    2020-09-29

      集成電路制造業是需要在一個超凈環境中進行的,它是使用超純材料進行超精細加工的行業。集成電路制造對潔凈室環境的控制有嚴格的要求,不同的工藝對清潔度有不同的要求。據了解,光刻需要1級微環境,而化學機械拋光需要1000級環境。


      
      半導體集成電路在生產過程中會接觸到很多污染物,比如無機離子、有機物質、微生物、氣體雜質等等。另外,廣義而言,不適當的溫度、濕度、光照、靜電超標、電磁噪聲、空氣噪聲和微振動也是特殊的污染物。
      
      其中,當顆粒雜質、無機離子、有機物質、微生物和氣體雜質的含量超過一定限度時,集成電路產品會出現表面劃傷、圖形斷裂、短路、針孔、脫皮等現象。導致電路泄漏和異常電氣特性,輕則影響電路性能和使用壽命,重則導致電路報廢。
      
      通常,污染導致的電路產品故障率可能高達60%。簡言之,集成電路芯片的成品率與芯片的缺陷密度有關,而缺陷密度與空氣中的粒子數有關。因此,隨著集成電路的迅速發展,不僅對控制空氣中顆粒的大小要求極高,而且對控制顆粒的數量也要求極高。同時,對超大規模集成電路生產環境中無塵車間項目的化學污染控制也有相關要求。
      
      鑒于這種情況,就需要使用遠程空氣塵埃粒子計數器來對半導體集成電路生產車間的環境進行監測,保證產品生產環境達到潔凈標準,對于空氣塵埃粒子計數器的選擇,工采網技術工程師建議使用美國 Particles Plus Inc. 遠程空氣塵埃粒子計數器 - 5301,配置簡單,可從一個儀器轉移到另一個儀器,易于清潔和擦拭與最小的粒子陷阱,多功能安裝選項,無縫集成到設備監控系統。

    [來源: http://news.isweek.cn/13651.html]

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