<mark id="zd5d1"></mark>

<em id="zd5d1"><address id="zd5d1"></address></em>

    <dfn id="zd5d1"></dfn><pre id="zd5d1"><listing id="zd5d1"></listing></pre>
    logo
    phone
    科創辦公 商業招商
    0532-88695877

    國內首臺8英寸PZT壓電薄膜設備落戶上海智能傳感器產業園

    2021-01-25

      導讀: 1月19日,國內首臺8英寸PZT壓電薄膜設備落戶上海智能傳感器產業園超越摩爾研發中試線,打造基于壓電材料的MEMS先進工藝平臺。
      
      1月19日,國內首臺8英寸PZT壓電薄膜設備落戶上海智能傳感器產業園超越摩爾研發中試線,打造基于壓電材料的MEMS先進工藝平臺。平臺將由國家智能傳感器創新中心(簡稱“創新中心”)和上海微技術工業研究院共同建設,持續推進智能傳感關鍵共性技術創新開發能力。
      
      PZT薄膜壓電MEMS技術是智能傳感器領域的重要發展方向,是充滿技術多樣性和產業機會的藍海領域。創新中心的量產型PZT壓電薄膜沉積設備可以實現8英寸晶圓上單晶體PZT薄膜的高質量生長,成膜溫度低(<500℃),可以滿足CMOS傳感控制電路與MEMS兼容集成制造需求,是與Bosch、Silex等國際主流傳感器生產廠商保持同步的先進裝備。新型壓電MEMS光學、聲學、慣性、微流控等產品,在自動駕駛、消費電子、光通信、醫療康養、工業控制等AIoT領域具有廣泛而重要的應用前景。
      
      本次入駐的PZT壓電薄膜沉積設備來自ULVAC,以及來自Oxford Instrument的PZT 薄膜刻蝕設備。創新中心持續穩步推進包括設計、仿真、材料、加工、測試等環節的高端MEMS工藝平臺能力建設,快速形成一系列相關特色技術模塊和工藝能力,將與產業鏈上下游共同打造基于壓電薄膜材料的MEMS新器件開發、新原理探索、新應用驗證的技術平臺,為國內外相關技術和產品開發提供平臺支撐服務,也將為無鉛壓電材料的薄膜化以及在MEMS方向的應用探索和技術開發提供平臺支持。
      
      國家智能傳感器創新中心致力于先進傳感器技術創新,以關鍵共性技術的研發和中試為目標,聯合傳感器上下游及產業鏈龍頭企業開展共性技術研發,形成“產學 研 用”協同創新機制,打造世界級智能傳感器創新中心。依托中國傳感器與物聯網產業聯盟已有近1000家產業鏈各領域的代表企業,發揮產學研資源優勢,加速我國物聯網核心技術的發展,推動智能傳感、大數據、人工智能的生態體系建設。
      
      [來源:國家智能傳感器創新中心]

    国产成人涩涩涩视频在线观看,亚洲伊人久久综合影院,精品一区二区成人精品_无码