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    上海微電子:中國首臺 2.5D / 3D 先進封裝光刻機正式交付客戶

    2022-02-09

           導讀: 2月7日,上海微電子舉行首臺2.5D/3D先進封裝光刻機發運儀式,這標志著中國首臺2.5D/3D先進封裝光刻機正式交付客戶。
      
      2月7日,上海微電子舉行首臺2.5D/3D先進封裝光刻機發運儀式,這標志著中國首臺2.5D/3D先進封裝光刻機正式交付客戶。去年9月18日,上海微電子舉行了新產品發布會,宣布推出新一代大視場高分辨率先進封裝光刻機。上海微電子曾表示,當時已與多家客戶達成新一代先進封裝光刻機銷售協議,首臺將于年內交付。
      
      據悉,當時推出的新品光刻機主要應用于高密度異構集成領域,具有高分辨率、高套刻精度和超大曝光視場等特點,可幫助晶圓級先進封裝企業實現多芯片高密度互連封裝技術的應用,滿足異構集成超大芯片封裝尺寸的應用需求,同時將助力封裝測試廠商提升工藝水平、開拓新的工藝,在封裝測試領域共同為中國集成電路產業的發展做出更多的貢獻。
      
      [來源:儀器信息網]

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